T系列6寸探针台 探针台主体 T-150M T-150H T-150 T-150L T-150G 名称 6寸小型探针台 6寸高温探针台 6寸常规探针台 6寸镭射探针台 6寸气浮探针台  卡盘大小 6英寸 卡盘X/Y位移范围 100mm*90mm  6英寸*6英寸（150mm*150mm） 卡盘材质 合金/镀镍/镀金/绝缘陶瓷等 卡盘温控 可选常温~200℃/300℃/400℃ 样品固定方式 真空吸附（可选：弹簧压片、卡槽固定等） 一杆抬针功能 一杆抬针功能（探针预接触功能）0~0.34mm高度均可悬停（可选） 台面升降 0~50mm（可选） 卡盘升降 0~10mm微调 高度显示 带下针高度显示（可选） 探针座数量 可放置6~8个探针座 探针台尺寸 520mm *578mm *600mm 610毫米*590毫米*600毫米（长*宽*高） 显微镜类型 体式显微镜、同轴光显微镜、金相显微镜（可选） 放大倍率 8X~50X/100X/200X/500X/1000X（可选） X/Y位移范围 ±25毫米（可选） 光源 环形光源/同轴光源/冷光源（可选） 工业相机 可选高清1080P/720P；带拍照、录像、测量功能  探针底座 MP-150/MP-180/MP-200 固定类型 磁性吸附、真空吸附(可选) 移动精度 0.7um/0.5um/0.35um 倾斜角度 角度0~30°精细微调 探针夹具 同轴探针夹具（可选）射频探针机构、进口三轴探针夹具 测试频率 dc~100MHz/1GHz/40GHz/50GHz/67GH/110GHz（可选） 漏电精度 约10pA（进口三轴探针夹具，约100fA） 接头类型 同轴接头（可选：SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、三轴接头、香蕉插头） 探针针尖半径 0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可选) 探针材质 钨钢/铍铜（可选镀金） 光学隔震平台 阻尼隔震式/气浮隔震式(可选) 平台大小（L*W*H） 700毫米*700毫米*800毫米（长*宽*高） 屏蔽箱 PBX-6，适用6寸探针台(可选) 　 以上参数仅供参考，购买以实际为准。