| 高真空/高低温探针台系列 |
| 型号 |
T-CV4 |
T-CV6 |
| 技术参数 |
| 真空台体 |
载物台尺寸 |
1英寸、2英寸、4英寸， 6英寸(可选)； |
| 载物台材质 |
金属/镀金/镀镍等 |
| 真空度 |
10-1Torr/10-5Torr/10-6Torr |
| 探针臂数量 |
4套 |
6套 |
| 探针位移范围X (Max) |
25mm/50mm |
| 探针位移范围 |
7mm/12mm/15mm（可定制） |
| Y/Z(最大) |
| 样品固定 |
卡槽固定，或弹簧压爪 |
| 真空泵组 |
机械泵/分子泵组（可选） |
| 电信号接口 |
同轴Triaxial，SMA,BNC,RF接口可选 |
| 控温系统 |
制冷源 |
液氮、制冷机 |
| 控温范围 |
-196℃/-100℃/-60℃至150℃/200℃/300℃(可选)； |
| 温度精度 |
0.1℃分辨率/0.5℃分辨率 |
| 温度稳定性 |
±0.1℃/±0.5℃(1~3寸) |
| 温度均匀性 |
±0.25℃（2寸）/±0.5℃（3寸） |
±0.5℃/±1℃/±1.5℃（6寸） |
| 配套显微镜 |
光学放大倍率 |
8X-50X/100X/200X/400X |
| 调节范围 |
X、Y轴行程25 mm，Z轴行程50mm |
| 光源类型 |
外置LED环形光源/同轴光源 |
| CCD相机 |
200万像素/500万像素/1200万像素（可拍照，录像、测量） |
| 探针夹具 |
线缆 |
同轴线/三轴线 |
| 漏电精度 |
10pA/100fa |
| 固定探针 |
弹簧固定/管状固定 |
| 接头类型 |
同轴Triaxial，SMA,BNC,RF接口可选 |
| 探针 |
类型 |
I/V探针，开尔文探针，微波探针 |
| 针尖直径 |
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
| 材质 |
钨合金/铍铜 |
| 外形 |
约700mm长*700mm宽*650mm高 |
约900mm长*800mm宽*700mm高 |
| 重量 |
约100千克 |
约115千克 |
| 可选附件 |
探针卡、自动供液氮系统、旋转卡盘、隔震台、探针卡夹具、射频测试组件 |
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以上参数仅供参考，购买以实际为准。 |