8寸高/低温探针台T-200HC |
卡盘(CHUCK)大小 |
8英寸/6英寸/4英寸/2英寸(可选) |
卡盘X/Y位移 |
8英寸*8英寸 |
卡盘升降 (大范围升降) |
60mm |
卡盘升降 (小范围升降) |
3mm或6mm或其他高度(选配) |
卡盘旋转 |
±5°(粗细微调) |
卡盘表面材质 |
镀金、镀镍、镀铬、绝缘陶瓷 |
制冷方式 |
液氮制冷--标配 /压缩机制冷--选配 |
温控范围 |
-60℃/-55℃至100℃/150℃/200℃/300℃ |
样品固定方式 |
真空吸附、吸附孔搭配吸附槽 |
探针座数量 |
可放置8个针座(可加载探卡) |
探针台尺寸 |
670毫米*775毫米*850毫米(长*宽*高) |
显微镜类型 |
同轴显微镜 (标配) |
体式显微镜 |
金相显微镜 |
最大倍率 |
150X |
50X~100X |
200X/500X/1000X |
显微镜X/Y位移 |
50mm*50mm |
光源 |
LED光源、同轴光源、冷光源 |
工业相机 |
高清1080P/720P;带拍照、录像、测量功能 |
探针座 |
射频探针座MP-150R/MP-180R/MP-200R/MP-300mmW |
直流探针座MP-150/MP-180 |
固定类型 |
磁性吸附/螺丝固定 |
移动精度 |
±0.7um/±0.5um (导程/360/2) |
倾斜角度 |
最大30°精细微调,微分头调节 |
探针夹具 |
射频探针装置 (支持探针频率:dc~500GHz) |
三轴探针夹具 |
漏电精度 |
约100fA |
约100fA |
接头类型 |
SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、波导接口 |
三轴接头(公) |
探针针尖半径 |
0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可选) |
探针材质 |
钨钢/铍铜/镀镍 |
光学隔震平台 |
阻尼隔震式、气浮隔震式(可选) |
平台大小 |
1000毫米*1000毫米*700毫米(长*宽*高) |
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以上参数仅供参考,购买以实际为准。 |