8寸高/低温探针台T-200HC
 卡盘(CHUCK)大小 8英寸/6英寸/4英寸/2英寸(可选)
卡盘X/Y位移 8英寸*8英寸
卡盘升降 (大范围升降) 60mm
卡盘升降 (小范围升降) 3mm或6mm或其他高度(选配)
卡盘旋转 ±5°(粗细微调)
卡盘表面材质 镀金、镀镍、镀铬、绝缘陶瓷
制冷方式 液氮制冷--标配 /压缩机制冷--选配
温控范围 -60℃/-55℃至100℃/150℃/200℃/300℃
样品固定方式 真空吸附、吸附孔搭配吸附槽
探针座数量 可放置8个针座(可加载探卡)
探针台尺寸 670毫米*775毫米*850毫米(长*宽*高)
显微镜类型 同轴显微镜 (标配) 体式显微镜 金相显微镜
最大倍率 150X 50X~100X 200X/500X/1000X
显微镜X/Y位移 50mm*50mm
光源 LED光源、同轴光源、冷光源
工业相机 高清1080P/720P;带拍照、录像、测量功能
探针座 射频探针座MP-150R/MP-180R/MP-200R/MP-300mmW 直流探针座MP-150/MP-180
固定类型 磁性吸附/螺丝固定
移动精度 ±0.7um/±0.5um (导程/360/2)
倾斜角度 最大30°精细微调,微分头调节
探针夹具 射频探针装置 (支持探针频率:dc~500GHz) 三轴探针夹具
漏电精度 约100fA 约100fA
接头类型 SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、波导接口 三轴接头(公)
探针针尖半径 0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可选)
探针材质 钨钢/铍铜/镀镍
光学隔震平台 阻尼隔震式、气浮隔震式(可选)
平台大小 1000毫米*1000毫米*700毫米(长*宽*高)
  以上参数仅供参考,购买以实际为准。