P系列小型探针台 探针台主体 P-100 P-150 P-150S 载物台大小 4英寸 6英寸 载物台X/Y位移范围 78mm*65mm 25mm*25mm 载物台位移方式 同轴旋钮控制 微分头控制  载物台材质 合金 、陶瓷、聚四氟乙烯、镀金等 高温载物台 选配（温度范围：常温~200℃/300℃/400℃/500℃） 样品固定方式 负压吸附 （2路独立控制） 负压吸附 （3路独立控制） 载物台升降 0~10mm精细升降 探针座数量 可放置4~6个探针座 探针台尺寸 500mm长*325mm宽*500mm高 520mm长*400mm宽*500mm高 显微镜类型 体式显微镜 、单筒显微镜（可选） 光学倍率 8X - 50X、(可选8X - 100X/200/300X/400X) 显微镜位移范围 升降50 mm 光源 LED光源、同轴光源、冷光源 工业相机 可选高清1080P/720P；带拍照、录像、测量功能 探针底座 MP-150（标配） MP-80、MP-180、MP-200（可选） 固定类型 磁性吸附固定、真空吸附(可选) 移动精度 0.7um（标配） 、0.5um 、0.35um 倾斜角度 最大30°，精细调节 探针夹具 同轴探针夹具（标配） 选配：射频探针机构、进口三轴探针夹具 漏电精度 约10pA（进口三轴探针夹具，约100fA） 接头类型 同轴接头 （可选：SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、三轴接头、香蕉插头） 测试频率 DC~100MHz/1GHz/40GHz/50GHz/67GH/110GHz 探针针尖半径 0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可选) 探针材质 钨钢/铍铜 光学隔震平台 阻尼隔震式/气浮隔震式(可选) 平台大小 800毫米*800毫米*800毫米（长*宽*高） 屏蔽箱 PBX-6，适用6寸探针台(选配)   以上参数仅供参考，购买以实际配置为准。