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| 先进自动探针台 | 高/低温、高真空探针台 | 毫米波、太赫兹测试探针台 | ||||
| 用于12"、8"、6"、4"、2"的Si/GaN/SiC等晶圆测试；进行I-V、C-V、光信号、RF射频、1/f噪声等特性分析，设备功能丰富； | 用于1~2寸晶圆、小器件，单个芯片或MEMS等器件电学性能测试。应用场景：I/V曲线测试，C/V测试，射频S参数测试等； | 支持dc~1.1THz太赫兹信号测试；用于器件电学、光-电参数验证；卡盘尺寸、功能、形状可定制； | ||||
| 探针台配件 |
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| PARTS | ||||||
| 高温卡盘 | 探针座 | 探针夹具 | ||||
| 支持常温~200℃/300℃/400℃/500℃/600℃（可选）材质：铝合金、无氧铜、镀金等可选； | 测试应用：RF参数测试、射频参数测试；产品类型：磁力底座（带磁性开关）；位移行程：12mm*12mm*12mm； | 测试应用：I-V 测试、C-V 测试、直流参数测试；产品类型：针管型同轴夹具；适配探针：钨钢探针、柔性探针等； | ||||
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| 测试应用TEST | |||
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