| 分类 | 名称 | 型号 |
| 晶圆测试 硬件选项 |
12英寸自动探针台 | T-3000 |
| Chuch卡盘尺寸 | 12英寸；外径305mm（标配） | |
| Chuch卡盘固定晶圆方式 | 负压（真空）吸附、吸附孔搭配吸附槽 （气阀独立开/关控制）（标配） | |
| 电子显微镜系统 | 高清放大150X（支持升级） | |
| 探针座 | MP-150*2（标配）（选配： MP-180、MP-200。。。） | |
| 探针夹具 | 2副同轴探针夹具（标配） | |
| DC探针 | 1微米/2微米/5微米/10微米/20微米/50微米/100微米/200微米（选配） | |
| 接口类型 | 同轴Triaxial，SMA,BNC,RF接口可选 | |
| 射频测试频率范围 | dc~26.5GHz/40GHz/50GHz/67GHz/110GHz（选配） | |
| 高清成像系统 | 高清1080P工业相机*1、高清显示器*2（标配） | |
| 无油真空泵 |
1台（标配）（提供晶圆吸附作用） | |
| 自动运行 硬件参数 |
工控机系统环境 | Windows 10 |
| 兼容晶圆尺寸 | 支持标准1、2、4、5、6、8、12英寸晶圆；或矩形区域内芯片测试； | |
| 兼容晶圆厚度 | 最大5000 um | |
| X轴行程 | ≥310mm | |
| X轴分辨率 | 0.1μm | |
| Y轴行程 | ≥310mm | |
| Y轴分辨率 | 0.1μm | |
| X/Y轴重复定位精度 | ≤±3μm | |
| Z轴结构 | 双Z轴，两套全闭环光栅系统 | |
| Z轴行程 | ≥10mm | |
| Z轴分辨率 | 0.1μm | |
| Z轴重复定位精度 | ≤±3μm | |
| Z轴下降保护 | 自保持恒定 | |
| θ轴旋转调节范围 | ≥±5 Deg | |
| θ轴驱动方式 | 电机+精密丝杆+转盘 | |
| θ轴掉电自保持 | 掉电（当前位置）自保持 | |
| θ轴调节方式 | 选点校准角度+精细微调 | |
| X/Y/Z驱动方式 | 伺服马达+滚珠丝杆+光册尺（全闭环控制） | |
| X/Y/Z参考原点复位精度 | 1LSB（0.1um） | |
| 自动运行 软件终端 |
测试模式 | 晶圆模式、矩形模式 （可一键切换测试类型） |
| 测试MAP图 | 晶圆模式MAP、矩形模式MAP | |
| 芯片状态分类 | 待测、不测、已测合格、已测不合格 | |
| 芯片选择功能 | 纳入待测，或者不测 | |
| MAP中芯片定位方式（3种） | 双击芯片移动 指定芯片序号移动 上一颗/下一颗移动 |
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| 任意芯片测试 | 可任意指定测试起/止 | |
| 丰富晶圆参数设置 | 芯片长、宽/芯片切割道设置/晶圆边沿留空/晶圆尺寸大小设置/晶圆整体偏移设置等 | |
| 单颗芯片测试时长 | 可任意设置，默认2秒 | |
| 晶圆参数加载/保存 | 具备 | |
| 尺寸测量功能 | 具备 | |
| 测试时微抬针高度设置 | 具备，可设置 | |
| 停机时探针复位高度 | 默认5mm，可设置 | |
| 当前测试芯片信息显示 | 具备 | |
| 测试后数据自动保存 | 具备 | |
| 图像判断功能 | （选配） | |
| 图像引导定位功能 | （选配） | |
| 打墨点功能 | （选配） | |
| 运行环境要求 | 设备供电 | AC220V，3500W(Max)，50Hz |
| 设备占用空间 | （长*宽*高）1.2米*1.2米*1.5米 | |
| 设备重量 | 约600KG（配置不同而存在差异） | |
| 环境温度 | 恒温（24℃至30℃） |
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| 环境湿度 | ≤ 50% RH | |
| （可代开发联控第三方仪器软件） 以上参数仅供参考，购买以实际订购的配置参数为准！ |
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