选型指南: |
12寸大型综合探针台T-300(科研、生产、旗舰型探针台) |
载物台大小(Chuck) |
多功能卡盘,12英寸(直径*305mm)带独立校准位和单颗芯片测试位(标配) |
载物台X/Y位移范围 |
12英寸*12英寸(305mm*305mm)(标配) |
载物台位移方式 |
高精度丝杆位移,高效位移手柄控制(标配)
精细丝杆位移+快速位移(Air Bearing Stage技术)(选配)
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载物台材质 |
铝合金(标配) 陶瓷、聚四氟乙烯、镀金等 |
载物台(Chuck) |
常温(标配)
(选配:温度范围:~100℃/200℃/300℃/400℃) |
进口无油真空泵
(提供吸附作用) |
1台(标配) |
样品固定方式 |
负压(真空)吸附、吸附孔搭配吸附槽 (带7路气阀独立开关控制)(标配) |
载物台旋转 |
精细旋转可调节(标配) |
载物台升降 |
0~10mm精细升降(标配) |
探针座数量 |
2(标配);可选配2至8个探针座 |
探针台尺寸 |
810mm长*770mm宽*650mm高 |
探针台重量 |
约80KG~110KG(视配置不同) |
显微镜 |
单筒显微镜(标配) |
体式显微镜 (选配) |
金相显微镜(选配) |
放大倍率 |
30X~150X(标配) |
8X~50X(选配) |
50X/100X/200X/500X/1000X(选配) |
显微镜调焦距范围 |
0~30mm |
光源 |
LED光源(标配)、同轴光源、冷光源 |
一杆抬针功能(选配) |
一杆抬针功能(又叫整体探针抬起功能)抬起100um、200um、300um高度均可(标配) |
扎针自锁/抬针自解锁(选配) |
扎针时卡盘自行锁定卡盘的X、Y轴;抬起探针到安全高度以上时自行解锁卡盘的X、Y轴,解锁后可移动卡盘。 |
台面升降(选配) |
放置探针座的台面可0~40mm范围内调节高度(标配) |
工业相机 |
高清1080P(标配);带拍照、录像、测量功能 |
探针座 |
MP-150(标配)(选配: MP-180、MP-200。。。) |
探针座固定方式 |
带开关的磁性吸附固定(标配) |
探针移动精度 |
±0.7um(标配) (选配: ±0.5um 、±0.35um) |
探针夹具 |
同轴探针夹具(标配) 选配:射频探针臂、进口三轴探针夹具 |
接头类型 |
BNC同轴接头(标配)
(可选:SMA、3.5mm、2.92mm、2.4mm、1.0mm、三轴接头、香蕉插头...) |
测试频率 |
可选:DC~1MHz/100MHz/1GHz/40GHz/50GHz/67GH/110GHz |
DC探针 |
0.5um/1 um/2um/5um/10um/20um/50um/100um(可选) |
探针材质 |
钨钢(标配)/铍铜 |
高清显示器 |
21~22英寸高清显示器*1台(标配) |
常用维护工具 |
内六角扳手*1套(标配) |
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以上参数仅供参考,购买以实际订购的配置参数为准! |