型号 技术参数 高真空/高低温探针台T-CV4 真空台体 载物台尺寸 2英寸(标配) 3英寸/4英寸（可选） 载物台材质 金属/镀金/镀镍等 真空度 10-1Torr/10-2Torr/10-3Torr/10-4Torr/10-5Torr/10-6Torr（可选） 探针臂数量 4套(标配) 6套（可选） X轴位移范围 50mm(标配) Y/Z轴位移范围 12mm(标配) 样品固定 卡槽固定，或弹簧压爪 真空泵组 机械泵(标配)/分子泵组（可选） 电信号接口 同轴Triaxial(标配)，SMA,BNC,RF接口可选 温度控制仪 制冷源 液氮(标配)、制冷机 控温范围 -60℃至100℃(标配) -196℃/-150℃/-120℃/-100℃/-60℃至100℃/150℃/200℃/300℃(可选)； 温度分辨率 0.1℃分辨率(标配) 温度稳定性 ±0.5℃(@30℃/min) 功率 800W~1500W 液氮供应系统 控制方式 制冷作用，PID闭环控制 控制信号电压 DC 24V 液氮罐 30L（标配）50L/60L/100L（选配） 运行噪音 ≤55dB 显微镜 显微镜类型 单筒显微镜（标配） 放大倍率 30X~150X（标配） 显微镜调焦距范围 0~30mm（标配） 光源类型 外置LED环形光源/同轴光源（标配） CCD相机 高清1080P（可拍照，录像、测量）（标配） 探针夹具 线缆 同轴线（标配）/三轴线 漏电精度 1~10pA（标配）/100fa 量级 固定探针 弹簧固定/管状固定 接头类型 同轴Triaxial，SMA,BNC,RF接口可选 探针 类型 I/V探针，开尔文探针，微波探针 针尖直径 1微米/2微米/5微米/10微米/20微米/50微米/100微米/200微米 材质 钨合金/铍铜 高清显示器 21~22英寸高清显示器*1台（标配） 外形尺寸 约750mm长*620mm宽*650mm高 （视显微镜高度不同而不同、该高度不包含支架） 重量 约60KG~85KG 可选附件 探针卡、隔震台、探针卡夹具、射频测试组件   以上参数仅供参考，购买以实际为准。