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高真空/高低温探针台T-CV4
用于1~6寸晶圆,批次小器件,单个芯片或MEMS等器件电学性能测试;
应用场景:I/V曲线测试,C/V测试,射频S参数测试等;
样品台尺寸:1英寸、2英寸、4英寸, 6英寸(可选);
控温范围:-196℃/-100℃/-60℃至150℃/200℃/300℃(可选);
真空度:10-1Torr/10-5Torr/10-6Torr(可选);
支持制冷机、液氮制冷,可互换;
仪器搭配:数字源表、半导体参数分析仪、LCR数字电桥、网络分析仪等。
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