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高温卡盘系统
6/8寸镀金加热卡盘
6/8寸加热卡盘
4寸加热卡盘
温度范围:常温~200/300/400/600℃>
温度范围:常温~200/300/400℃>
温度范围:常温~200/300/400℃>
高温PID控温单元
PID高/低控温单元
常温~200/300/500℃,最高精度0.1℃>
控温范围-180/-65℃~200/600℃>
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