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  高温卡盘系统
 
6/8寸镀金加热卡盘 6/8寸加热卡盘 4寸加热卡盘  
温度范围:常温~200/300/400/600℃>
温度范围:常温~200/300/400℃>
温度范围:常温~200/300/400℃>
 

   
高温PID控温单元 PID高/低控温单元    
常温~200/300/500℃,最高精度0.1℃>
控温范围-180/-65℃~200/600℃>
   
 
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