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6/8寸加热卡盘
6/8寸加热卡盘
描述:
常温~200℃/300℃/400℃/500℃/600℃(可选)
材质:铝合金、无氧铜、镀金等可选
外形:圆形、方型(可定制)
温度均匀性:±0.1℃/±0.5℃/±1.0℃
温度稳定性:±0.1℃/±0.5℃/±1.0℃(受环境影响)
表面平整度:±1um/1.5um/2um/2.5um(可选)
功率:200W~2000W可选(直流加热)
带风冷装置(选配)
多路温度检测(选配)
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