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6寸高温探针台T-150H
用于1~6寸晶圆,批次小器件,单个芯片或MEMS等器件电学性能测试。
应用场景:I/V曲线测试,C/V测试,射频S参数测试等;
仪器搭配:数字源表、半导体参数分析仪、LCR数字电桥、网络分析仪等。
特点优势:高温验证,温度从常温~200℃/300℃/400℃/500℃。
高清解析,微观放大倍率20X~50X/100X/200X/500X/1000X可选
用于实验室芯片验证,失效分析,产线射频芯片S参数测试等。
     
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