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6寸镭射探针台T-150L
搭配进口镭射激光系统,波长:1064 nm、 532 nm、 355 nm可选。
应用场景:失效分析,集成电路修调,烧蚀绝缘层后探测内部电信号;
具备多种工作模式:单次、连续 (1 Hz)、多个脉冲;功率连续可调。
切割尺寸:1μm x 1μm;50μm x 50μm(在50X物镜下)
显微镜光学倍率:20X~50X/100X/500X/1000X(UV镜头可选)
可对单个芯片,MEMS,液晶面板,1~6寸晶圆进行处理。
     
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