| 小型真空/高低温探针台T-CV4Mini |
| 用于1~2寸晶圆，小器件，单个芯片或MEMS等器件电学性能测试； |
| 应用场景：I/V曲线测试，C/V测试，射频S参数测试等； |
| 样品台尺寸：1英寸、2英寸(可选)； |
| 控温范围：-196℃/-150℃/-120℃/-100℃/-60℃至100℃/150℃/200℃/300℃(可选)； |
| 真空度：10-1Torr/10-2Torr/10-3Torr/10-4Torr/10-5Torr（可选）； |
| 支持制冷机、液氮制冷，可互换；可做气敏测试，可选配湿度监测； |
| 仪器搭配：数字源表、半导体参数分析仪、LCR数字电桥、网络分析仪等。 |
